半导体测试系统

★1.脉冲响应测试单元

1.2.电压脉冲宽度可调优于200ns

1.4.脉冲正负、幅值、频率、个数可编程

★2.I-V测量单元

2.2.电流转换范围：10pA-10mA

2.4. 电流-电压(单向线性扫描，范围可调，步长0.02V—1V)

2.5.电流-电压(循环线性扫描，扫描循环次数优于10⁶)

★3.I-T测量单元

3.2.10 MSa/s，100 ns 采样率

3.4.时间可任意设置